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Nanostructuration de surface de plaques de silicium (001) par révélation d'un réseau de dislocations enterrées pour l'auto-organisation à longue distance de nanostructures

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Academic year: 2021

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Figure II-3 : Observations d’une onde de collage sous un microscope  infrarouge (autour de 1.3  µm) pendant le collage de deux plaquettes de silicium de 100 mm de diamètre
Figure  II-5 :  Observations  sous  microscope  infrarouge  de  l’interface  d’un  collage  hydrophobe  après (a) le collage à température ambiante, (b) un recuit à 500 °C pendant 1h et (c) un recuit à  900 °C pendant 1h
Figure II-7 : Cartographies des épaisseurs de silicium (a) après un polissage mécano-chimique  et (b) après une oxydation sacrificielle sur des plaques de 200 mm de diamètre
Figure  II-9 :  Représentation  schématique  d’un  bord  de  plaque  (a)  avant  et  (b)  après  transfert
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