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Hyper high NA achromatic interferometer for immersion lithography at 193nm

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Academic year: 2021

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Table 2:  NA  0.32  0.97  (dry)  0.97  (immersion)  1.2  DOF (µm)  352  30  126  74
Table 3:  NA  0.32  0.97  1.2  Grating period (nm)  P 1  600 P 2 600 P 1 220 P 2 210 P 1 300 P 2 210 Grating groove  depth (nm)  150  145  170  145  140

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