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Multilayer chromium based coatings grown by atmospheric pressure direct liquid injection CVD

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Academic year: 2021

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Fig. 1. Influence of the BBC mole fraction on the growth rate of CrC x coatings. The BBC mole fraction was controlled by the injection parameters (frequency, opening time and deposition time).
Fig. 5. SIMS depth composition profile of a CrC x /CrN-10 coating showing the 10 layers grown on Si substrate protected with a Si 3 N 4 thin layer (bi-period 204 nm).
Fig. 7. SIMS depth profile of nanostructured CrC x /CrN-40 layer coating with a bi-period of 55 nm: (a) as deposited; (b) after heat treatment at 973 K for 4 h under nitrogen.

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