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Chemical vapor deposition of Al, Fe and of the Al13Fe4 approximant intermetallic phase : experiments and multiscale simulations

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Academic year: 2021

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Figure

Fig. S-1: Micrographies MEB de surface et en coupe transverse des films d’Al déposés à 139 o C (a,b), 198 o C (c,d) and 227 o C (e,f)
Fig. S-6: Micrographies MEB de la surface de films de Fe déposés à (a) 130 o C, (b) 150 o C, (c) 170 o C, (d) 190 o C, (e) 200 o C et (f) 240 o C
Fig. S-7: Le diagramme d’Arrhenius du dépôt CVD de Fe à partir de Fe(CO) 5
Fig. S-12: Des analyses atomiques EPMA en fonction du flux de l’H 2 à l’entrée du réacteur
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