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Développement d'une approche basée sur la microscopie électronique en transmission filtrée en énergie pour la détermination des propriétés physiques de bulles d'hélium dans le silicium

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Academic year: 2021

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Tableau I.1 – Valeurs du paramètre C liant la densité d’hélium au décalage du seuil K de l’hélium pour différents matériaux selon
Figure I.2 – Bulles d’hélium dans le germanium [28]. a) Carte chimique de l’hélium, filtrée à 22 eV (±0,5 eV)
Figure I.3 – a) Vue en coupe d’une boîte de simulation avec N H e = 8000. La couleur rouge correspond aux atomes de tungstène ayant une structure locale bcc, le jaune aux atomes de tungstène localement désordonnés, et le noir aux atomes d’hélium localement
Figure II.1 – a) Micrographie d’un échantillon de silicium implanté hélium et recuit à 300°C 30’
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Modes d’acquisition Corrélation et moyennage Ajustement des plasmons Extraction du seuil K de l’hélium Densité d’hélium Recuits ex situ à 700°C Recuits ex situ à 500°C Pression et équation de Laplace-Young

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