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Utilisation de micropoutres sans couche sensible en vibration pour la détection d'espèces gazeuses - Réalisation d'un réseau gaz pilotable

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Academic year: 2021

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Figure

Figure 1.2 : Multidisciplinarité dans la conception et la réalisation des microsystèmes [2]
Figure 1.6 : Micro-usinage de surface, basé sur les propriétés d’attaque sélective des matériaux
Figure 2.4 : Proposition de modification du réseau gaz avec une ligne de sortie et 2 voies de faible ou fort débit
Figure 2.5 : Proposition de modification du réseau gaz avec deux lignes de sorties indépendantes
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1-3-3 Débitmètres massiques à effet thermique 39 1-3-4 Performances requises dans le choix d’un débitmètre 42 2-3-2 Détendeurs basse pression de canalisations 61 2-3-4 Vannes et électrovannes 64 2-3-5 Thermo-hygromètre et manomètres 68 4-2-1 Face avant du VI 80 4-2-2 Diagramme du VI 83 1 Situation actuelle et objectifs des détections gazeuses 109 3-1-4 Génération de vapeurs à l’aide de calibrateurs 125

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