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Procédé de dépôt de couches minces nanocomposites par Décharge à Barrière Diélectrique : De l’aérosol d’une suspension colloïdale à la morphologie du dépôt.

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Academic year: 2021

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Figure  I-1 :  Représentation  schématique  de  la  classification  des  différents  types  de  structures  nanocomposites selon l’organisation des différentes phases (A et B)
Tableau I-1 (Suite) : Avantages et inconvénients des différents procédés physiques et chimiques de  couches minces nanocomposites
Figure  I-8 :  a)  Schéma  de  principe  du  procédé  de  dépôt  PVD-PECVD  couplé  et  b)  exemple  de  nanocomposite réalisé à partir d’hexamethyldisilazane (HMDSN) et NPs de Cobalt (Co) [71]
Tableau I-3 : Récapitulatif des avantages et inconvénients des différentes méthodes de dépôts de  couches minces nanocomposites utilisant un plasma
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