Miniaturized piezoelectric actuators for high-speed flow control applications.
22
0
0
Texte intégral
(2) .
(3)
(4) . .
(5)
(6)
(7)
(8) !
(9) " # $!! %
(10)
(11) &' $
(12)
(13)
(14) #( )
(15)
(16) * % + ,,-,+
(17) ( . / ) 0 1 2334. .
(18) .
(19) . . 3563262373. . . 6 6 66 . . . . 6 6!6
(20) 0 . . . . . 6 6 66 /
(21) . . . . . 6 6 . . . . . 6 6!6 8) / . . . . . 69 . . . . 6 .
(22) . . . 6!68 . . . . . . .
(23) Aktuelle Berichte aus der Mikrosystemtechnik Recent Developments in MEMS. Band 13. Christian Bolzmacher. Miniaturized Piezoelectric Actuators for High-Speed Flow Control Applications. Shaker Verlag Aachen 2011.
(24) Bibliographic information published by the Deutsche Nationalbibliothek The Deutsche Nationalbibliothek lists this publication in the Deutsche Nationalbibliografie; detailed bibliographic data are available in the Internet at http://dnb.d-nb.de. Zugl.: Saarbrücken, Univ. und Ecole Polytechnique, Diss., 2010. Copyright Shaker Verlag 2011 All rights reserved. No part of this publication may be reproduced, stored in a retrieval system, or transmitted, in any form or by any means, electronic, mechanical, photocopying, recording or otherwise, without the prior permission of the publishers. Printed in Germany.. ISBN 978-3-8322-9728-2 ISSN 1862-5711 Shaker Verlag GmbH • P.O. BOX 101818 • D-52018 Aachen Phone: 0049/2407/9596-0 • Telefax: 0049/2407/9596-9 Internet: www.shaker.de • e-mail: [email protected].
(25) . ) # '
(26) ' / /
(27)
(28) 6#
(29) % / ) )%' '
(30) #/ '
(31) ' 6#
(32) %/) )
(33)
(34)
(35)
(36) ) /
(37) ) )
(38) % % 6 #
(39) %
(40)
(41) /6 ' : ) '
(42) + % /
(43)
(44) /
(45) / +
(46) / / 6#
(47)
(48)
(49) / / /
(50) 6 #
(51) )
(52) / %/
(53) ; ' % /
(54) )'
(55) 6# / /) ;
(56)
(57)
(58) /;//
(59) /
(60) 6# / ) )%' %
(61) /6# '
(62)
(63) )%: :
(64) / % /6 #
(65)
(66) )
(67)
(68) / /)
(69) ' ; %// /
(70) : ;
(71) )%
(72)
(73) 6#
(74) / /)
(75)
(76) ' : /;///
(77) ) ) '
(78) 6#
(79) '
(80)
(81)
(82)
(83) )
(84) ;%// /
(85)
(86) /
(87) /< ) 6 /
(88) /
(89)
(90) + % +
(91) ' #/ ' : + % '
(92)
(93) )% + 6! ) :/ ) :
(94)
(95) +% / / 6 # )
(96) ) /
(97) / //
(98)
(99) ; / 6
(100) '
(101) /
(102)
(103)
(104) : ) ;)
(105)
(106) +
(107) ' 6!) /
(108) /
(109) % : + %
(110)
(111) + %=>53 ?
(112)
(113) ) 6.
(114) . .
(115) . . @ '
(116) ) ) )
(117) '/ A/) # $ 6 B A #/ B
(118) / ) &/ /) ' )
(119) 6
(120) %/
(121) /
(122) ' /
(123) B
(124) )'/ 0) ) /
(125) $ :
(126) # )
(127) 60
(128) ' #
(129) ) / C / ) + )
(130) /A C /
(131) ) )/ ) A6 @
(132)
(133)
(134)
(135) ' / //
(136) 6 @ : / )' $ : ) ) :
(137)
(138) 0) ) ) / ) $6 D
(139) @ 0)
(140) D $
(141) /
(142) /;/ /
(143)
(144) /) /
(145) 6 )' $
(146)
(147) ) : E)
(148) ' :
(149) ! F % / 6 : & :) /) :
(150)
(151) F / F ) )
(152) 6 /
(153)
(154) / /) / :
(155) /
(156) ' $
(157) 6 0 ;%// /
(158) A 8
(159)
(160) A / ;//
(161) )/ :
(162)
(163) " )
(164)
(165) / $
(166) 6 # $ /
(167) /
(168)
(169) : /
(170) C + ) A' #/ B 6 ) / 8) $ :
(171) ' )
(172) 6 )
(173) A/
(174) / F / C/ / B
(175) 6.
(176)
(177) /C )
(178)
(179) 0
(180) A/6 !/
(181) &
(182) :
(183)
(184) /
(185) /
(186) ' A/)
(187) :
(188) # $ +
(189) =>53 ?
(190) 6.
(191) ' . .
(192) . '. F,/, (
(193) ,
(194) ,' /
(195) * , , + / , G
(196) *, /
(197) * H ' 6I*)<
(198)
(199) / ) G
(200)
(201)
(202) #/ *
(203)
(204) *
(205) H ' , 6 I* ,
(206) %/+ * ;+
(207) ; /
(208) * / / ) 6 I //
(209) )
(210) J ,
(211)
(212) /( ' 6I G
(213) , *
(214) * % H //
(215) ,+ :
(216) /
(217) , ',
(218)
(219) / 6I , ,
(220) ',,/
(221) ,,
(222) /,
(223) ,,/ 6 I / ,
(224) ,
(225) '
(226) ( /,/, + / '
(227) % ' ,+ ,
(228)
(229) * , /+ , , + 6 I / /) ;, )
(230) ;,
(231) *
(232) , / /;// , 6I
(233) */ J
(234) ,
(235)
(236)
(237) /
(238) * 6I '
(239) G
(240) :
(241) , : /
(242) , (
(243) : + *,
(244) %(/ '6 I
(245) ;(/ ), *
(246) * / /) + , , , +
(247) /
(248) ;%/, + 6I,/, +
(249) ,, , * , , + ' K /
(250) / 6I ) , ;) ')
(251) /
(252)
(253) *
(254) , ,
(255) ) /,6 G
(256)
(257)
(258) #/ :/
(259)
(260) */
(261) +,
(262) //
(263) , + K ,+
(264) ,' , /
(265) 6 *'
(266) * / /) ) /, , / 6 I*
(267) , /
(268) * ,, / , '
(269) H /
(270)
(271) ) ' 6 I*
(272)
(273)
(274) /
(275)
(276) '
(277) *, / /
(278) / *
(279) , , G
(280) 6 :,,
(281) ,/ ,+ /
(282)
(283) */
(284) ' , ,+ , ,
(285) /( / +* * *, / =>53 ?6.
(286) ' . .
(287) . '. #) ! ! " # " $ % & ' 7676F ' )< 6666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666 7 7626 B 6666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666 L 76L68)< ' !' 6666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666 M () * 2676.
(288) %I% # %6666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666 N 267676.
(289) %I% # 666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666 O 267626.
(290) %I% 666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666 O 2626
(291) # ) 6666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666 73 26L6# 666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666 72 2656I )%# %6666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666 7L 26M6' B' 6666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666 7M 26M676' # 6666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666 7P 26M626' # ) 66666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666 7O 26P6 6666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666 27.
(292) '. . . +, L676F + / 666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666 2L L626# 66666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666 25 L62676 / 666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666 2M L62626 %/ 666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666 2M L626L6 ' / 66666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666 2P L62656 ' %/ 66666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666 2N L626M6 ' / 6666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666 2O L626P6 / 6666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666 24 L626N6 ' 6666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666 L3 L626O6 / / %%666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666 L7 L62646 / 66666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666 L2 L626736 6666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666 LL L6L6 / # # 66666666666666666666666666666666666666666666666 LL ,* 5676 6666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666 LN 567626 %66666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666 LO 5676L6 % %666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666 LO 567656 %66666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666 L4 5676M6F ; %66666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666 L4 5626 Q#
(293) " #666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666 53 562676 6666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666 53 562626 66666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666 52 5626L6" 666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666 5L 56L6
(294) 666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666 55 56L676"6666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666 55.
(295) . ;. 56L626 ' + 6666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666 5M 56L6L6 /
(296) /666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666 5N 5656 D 66666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666 5O 565676! / /6666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666 54 565626 ; / /666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666 M7 56562676%
(297) %/
(298) 666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666 M7 56562626 %/
(299) 6666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666 M2 5656L6 + %I '
(300) 6666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666 ML 56M6 66666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666 ML 56P6 6666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666 M5 ( - .. M676 %/&66666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666 MM M67676 6666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666 MP M67626/ 666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666 MN M6762676% 6666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666 MO M6762626. %6666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666 P3 M67626L6 %/% 666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666 P2 M6762656 /) %6666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666 PM M676L6
(301) ! 666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666 PP M67656 66666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666 PO M626 " #//& 66666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666 NM M62676 6666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666 NM M62626/ 666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666 NN M6262676% 6666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666 NN M6262626 %/% 666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666 N4 M626L6
(302) ! 666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666 O7.
(303) ;. . M62656 66666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666 O2 M6L6 66666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666 ON / 01 P676F 666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666 O4 P626D) 666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666 43 P6L6B' 66666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666 4L P656 666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666 4N P6M6/66666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666 44 P6M676
(304) % 6666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666 733 P6M626 /%6666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666 732 P6P6
(305) ! 66666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666 73P P6N6 6666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666 73P P6O6 666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666 777 (2 '', N676 ; / & 66666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666 77L N67676# B
(306) # # % 666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666 775 N67626B 666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666 775 N676L6
(307) / %666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666 77M N67656!
(308) ; / 8 6666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666 77P N626 %/
(309) ; / 666666666666666666666666666666666666666666666666 77N N62676#/ #
(310) 666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666 77O N62626
(311)
(312) '6666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666 727 N6L6& ; / 66666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666 722 N6L676 ;%//
(313) =3:7?66666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666 722 N6L67676#/ #
(314) 6666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666 72L N6L67626
(315)
(316) ' 66666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666 725.
(317) . ;. N6L626
(318) ;%//
(319) =3:2?666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666 72M N6L62626#/ #
(320) 6666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666 72M N6L626L6
(321)
(322) ' 66666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666 72N N6L6L6#
(323) ;%//
(324) =3:L?666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666 72O N6L6L676#/ #
(325) 6666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666 724 N6L6L626
(326)
(327) ' 66666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666 7L2 N656 666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666 7LL 3 (4# 5 6 ',. ',1 7 5 '.' 7 '.1 8 '9'. .
(328) ; . .
(329) . "/ I%/) . . / . . . / . . . Q
(330) %// /
(331) . . %/ . . . # . . . . . . '
(332) . . . B' ' %. . . '
(333) . . // ;. . / ;. . . . . ;
(334) %. . .
(335) / / ;. . . / ;. . .
(336) . . .
(337) / ;. . . . . . . . . # /% . . .
(338)
(339) .
(340) . . . .
(341) . . . . ;.
(342) . ;' . . .
(343)
(344) .
(345)
(346) . . ; . / . . / . . "/)
(347)
(348) / . . . / . . . / . . / ;. . . "/)
(349) . . . . . . . . %/ . . F
(350) / /) . . F %
(351) /) . . / / . . / . . / ;. . . . # . . Q
(352) %// /
(353) . . . / ;. . . / . . # / /;//
(354) /'%. . / / ;. . . . . / . .
(355) ' %. . /' %. . . R*/
(356) :/
(357) %. . . .
(358)
(359) . .
(360) . %/) . . "
(361) / ' ) . . . + % / . . . .
(362) %% . . . /'% . . . F ' /'%. . / . . B' . . . . %/'%. . . * . . . "
(363) / ' ) . . . %. .
(364)
(365) % /
(366) . . . . . . / ;. . " + %. . . I/,. ;'.
(367) . ;'. )) ' . . . F .
(368) ' % . . . /
(369) /
(370) . . . . B . ' ' . . . . . . /
(371) %/. . . . . . / . F! . ' . . . ' %/ . . . / /
(372) . . / / / %%. I . %)
(373) / . ! . . !
(374) / . I . . I
(375)
(376) . I . . I/ . . . /) . . / % /. .. )
(377) %. . " . "
(378) ' % // . "#. . " /. "I. . " / . 8 . . 8
(379) / . IQ# . I
(380) / . " . I
(381) / /) . " #. I
(382) / /) S
(383) . D . %'%
(384)
(385) .
(386) D # . %'%
(387)
(388) % . D # . %'%
(389)
(390) % . Q" #. I
(391) ) S
(392) . Q#. . I
(393) . 2P. .
(394) / / /. 24. . / / /. F!".8B. F
(395)
(396)
(397) %)
(398) ;
(399) . F. . F/ + . . .
(400)
(401)
(402) '. # . # )/ '
(403) ) %
(404) % /. #&" F. #% /
(405) '
(406) . #. . #/ . D . . D ; . . ;'.
(407)
Documents relatifs
