Miniaturized piezoelectric actuators for high-speed flow control applications.
22
0
0
Texte intégral
(2) .
(3)
(4) . .
(5)
(6)
(7)
(8) !
(9) " # $!! %
(10)
(11) &' $
(12)
(13)
(14) #( )
(15)
(16) * % + ,,-,+
(17) ( . / ) 0 1 2334. .
(18) .
(19) . . 3563262373. . . 6 6 66 . . . . 6 6!6
(20) 0 . . . . . 6 6 66 /
(21) . . . . . 6 6 . . . . . 6 6!6 8) / . . . . . 69 . . . . 6 .
(22) . . . 6!68 . . . . . . .
(23) Aktuelle Berichte aus der Mikrosystemtechnik Recent Developments in MEMS. Band 13. Christian Bolzmacher. Miniaturized Piezoelectric Actuators for High-Speed Flow Control Applications. Shaker Verlag Aachen 2011.
(24) Bibliographic information published by the Deutsche Nationalbibliothek The Deutsche Nationalbibliothek lists this publication in the Deutsche Nationalbibliografie; detailed bibliographic data are available in the Internet at http://dnb.d-nb.de. Zugl.: Saarbrücken, Univ. und Ecole Polytechnique, Diss., 2010. Copyright Shaker Verlag 2011 All rights reserved. No part of this publication may be reproduced, stored in a retrieval system, or transmitted, in any form or by any means, electronic, mechanical, photocopying, recording or otherwise, without the prior permission of the publishers. Printed in Germany.. ISBN 978-3-8322-9728-2 ISSN 1862-5711 Shaker Verlag GmbH • P.O. BOX 101818 • D-52018 Aachen Phone: 0049/2407/9596-0 • Telefax: 0049/2407/9596-9 Internet: www.shaker.de • e-mail: info@shaker.de.
(25) . ) # '
(26) ' / /
(27)
(28) 6#
(29) % / ) )%' '
(30) #/ '
(31) ' 6#
(32) %/) )
(33)
(34)
(35)
(36) ) /
(37) ) )
(38) % % 6 #
(39) %
(40)
(41) /6 ' : ) '
(42) + % /
(43)
(44) /
(45) / +
(46) / / 6#
(47)
(48)
(49) / / /
(50) 6 #
(51) )
(52) / %/
(53) ; ' % /
(54) )'
(55) 6# / /) ;
(56)
(57)
(58) /;//
(59) /
(60) 6# / ) )%' %
(61) /6# '
(62)
(63) )%: :
(64) / % /6 #
(65)
(66) )
(67)
(68) / /)
(69) ' ; %// /
(70) : ;
(71) )%
(72)
(73) 6#
(74) / /)
(75)
(76) ' : /;///
(77) ) ) '
(78) 6#
(79) '
(80)
(81)
(82)
(83) )
(84) ;%// /
(85)
(86) /
(87) /< ) 6 /
(88) /
(89)
(90) + % +
(91) ' #/ ' : + % '
(92)
(93) )% + 6! ) :/ ) :
(94)
(95) +% / / 6 # )
(96) ) /
(97) / //
(98)
(99) ; / 6
(100) '
(101) /
(102)
(103)
(104) : ) ;)
(105)
(106) +
(107) ' 6!) /
(108) /
(109) % : + %
(110)
(111) + %=>53 ?
(112)
(113) ) 6.
(114) . .
(115) . . @ '
(116) ) ) )
(117) '/ A/) # $ 6 B A #/ B
(118) / ) &/ /) ' )
(119) 6
(120) %/
(121) /
(122) ' /
(123) B
(124) )'/ 0) ) /
(125) $ :
(126) # )
(127) 60
(128) ' #
(129) ) / C / ) + )
(130) /A C /
(131) ) )/ ) A6 @
(132)
(133)
(134)
(135) ' / //
(136) 6 @ : / )' $ : ) ) :
(137)
(138) 0) ) ) / ) $6 D
(139) @ 0)
(140) D $
(141) /
(142) /;/ /
(143)
(144) /) /
(145) 6 )' $
(146)
(147) ) : E)
(148) ' :
(149) ! F % / 6 : & :) /) :
(150)
(151) F / F ) )
(152) 6 /
(153)
(154) / /) / :
(155) /
(156) ' $
(157) 6 0 ;%// /
(158) A 8
(159)
(160) A / ;//
(161) )/ :
(162)
(163) " )
(164)
(165) / $
(166) 6 # $ /
(167) /
(168)
(169) : /
(170) C + ) A' #/ B 6 ) / 8) $ :
(171) ' )
(172) 6 )
(173) A/
(174) / F / C/ / B
(175) 6.
(176)
(177) /C )
(178)
(179) 0
(180) A/6 !/
(181) &
(182) :
(183)
(184) /
(185) /
(186) ' A/)
(187) :
(188) # $ +
(189) =>53 ?
(190) 6.
(191) ' . .
(192) . '. F,/, (
(193) ,
(194) ,' /
(195) * , , + / , G
(196) *, /
(197) * H ' 6I*)<
(198)
(199) / ) G
(200)
(201)
(202) #/ *
(203)
(204) *
(205) H ' , 6 I* ,
(206) %/+ * ;+
(207) ; /
(208) * / / ) 6 I //
(209) )
(210) J ,
(211)
(212) /( ' 6I G
(213) , *
(214) * % H //
(215) ,+ :
(216) /
(217) , ',
(218)
(219) / 6I , ,
(220) ',,/
(221) ,,
(222) /,
(223) ,,/ 6 I / ,
(224) ,
(225) '
(226) ( /,/, + / '
(227) % ' ,+ ,
(228)
(229) * , /+ , , + 6 I / /) ;, )
(230) ;,
(231) *
(232) , / /;// , 6I
(233) */ J
(234) ,
(235)
(236)
(237) /
(238) * 6I '
(239) G
(240) :
(241) , : /
(242) , (
(243) : + *,
(244) %(/ '6 I
(245) ;(/ ), *
(246) * / /) + , , , +
(247) /
(248) ;%/, + 6I,/, +
(249) ,, , * , , + ' K /
(250) / 6I ) , ;) ')
(251) /
(252)
(253) *
(254) , ,
(255) ) /,6 G
(256)
(257)
(258) #/ :/
(259)
(260) */
(261) +,
(262) //
(263) , + K ,+
(264) ,' , /
(265) 6 *'
(266) * / /) ) /, , / 6 I*
(267) , /
(268) * ,, / , '
(269) H /
(270)
(271) ) ' 6 I*
(272)
(273)
(274) /
(275)
(276) '
(277) *, / /
(278) / *
(279) , , G
(280) 6 :,,
(281) ,/ ,+ /
(282)
(283) */
(284) ' , ,+ , ,
(285) /( / +* * *, / =>53 ?6.
(286) ' . .
(287) . '. #) ! ! " # " $ % & ' 7676F ' )< 6666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666 7 7626 B 6666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666 L 76L68)< ' !' 6666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666 M () * 2676.
(288) %I% # %6666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666 N 267676.
(289) %I% # 666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666 O 267626.
(290) %I% 666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666 O 2626
(291) # ) 6666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666 73 26L6# 666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666 72 2656I )%# %6666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666 7L 26M6' B' 6666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666 7M 26M676' # 6666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666 7P 26M626' # ) 66666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666 7O 26P6 6666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666 27.
(292) '. . . +, L676F + / 666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666 2L L626# 66666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666 25 L62676 / 666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666 2M L62626 %/ 666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666 2M L626L6 ' / 66666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666 2P L62656 ' %/ 66666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666 2N L626M6 ' / 6666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666 2O L626P6 / 6666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666 24 L626N6 ' 6666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666 L3 L626O6 / / %%666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666 L7 L62646 / 66666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666 L2 L626736 6666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666 LL L6L6 / # # 66666666666666666666666666666666666666666666666 LL ,* 5676 6666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666 LN 567626 %66666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666 LO 5676L6 % %666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666 LO 567656 %66666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666 L4 5676M6F ; %66666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666 L4 5626 Q#
(293) " #666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666 53 562676 6666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666 53 562626 66666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666 52 5626L6" 666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666 5L 56L6
(294) 666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666 55 56L676"6666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666 55.
(295) . ;. 56L626 ' + 6666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666 5M 56L6L6 /
(296) /666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666 5N 5656 D 66666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666 5O 565676! / /6666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666 54 565626 ; / /666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666 M7 56562676%
(297) %/
(298) 666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666 M7 56562626 %/
(299) 6666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666 M2 5656L6 + %I '
(300) 6666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666 ML 56M6 66666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666 ML 56P6 6666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666 M5 ( - .. M676 %/&66666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666 MM M67676 6666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666 MP M67626/ 666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666 MN M6762676% 6666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666 MO M6762626. %6666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666 P3 M67626L6 %/% 666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666 P2 M6762656 /) %6666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666 PM M676L6
(301) ! 666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666 PP M67656 66666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666 PO M626 " #//& 66666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666 NM M62676 6666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666 NM M62626/ 666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666 NN M6262676% 6666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666 NN M6262626 %/% 666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666 N4 M626L6
(302) ! 666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666 O7.
(303) ;. . M62656 66666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666 O2 M6L6 66666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666 ON / 01 P676F 666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666 O4 P626D) 666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666 43 P6L6B' 66666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666 4L P656 666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666 4N P6M6/66666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666 44 P6M676
(304) % 6666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666 733 P6M626 /%6666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666 732 P6P6
(305) ! 66666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666 73P P6N6 6666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666 73P P6O6 666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666 777 (2 '', N676 ; / & 66666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666 77L N67676# B
(306) # # % 666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666 775 N67626B 666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666 775 N676L6
(307) / %666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666 77M N67656!
(308) ; / 8 6666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666 77P N626 %/
(309) ; / 666666666666666666666666666666666666666666666666 77N N62676#/ #
(310) 666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666 77O N62626
(311)
(312) '6666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666 727 N6L6& ; / 66666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666 722 N6L676 ;%//
(313) =3:7?66666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666 722 N6L67676#/ #
(314) 6666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666 72L N6L67626
(315)
(316) ' 66666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666 725.
(317) . ;. N6L626
(318) ;%//
(319) =3:2?666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666 72M N6L62626#/ #
(320) 6666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666 72M N6L626L6
(321)
(322) ' 66666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666 72N N6L6L6#
(323) ;%//
(324) =3:L?666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666 72O N6L6L676#/ #
(325) 6666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666 724 N6L6L626
(326)
(327) ' 66666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666 7L2 N656 666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666 7LL 3 (4# 5 6 ',. ',1 7 5 '.' 7 '.1 8 '9'. .
(328) ; . .
(329) . "/ I%/) . . / . . . / . . . Q
(330) %// /
(331) . . %/ . . . # . . . . . . '
(332) . . . B' ' %. . . '
(333) . . // ;. . / ;. . . . . ;
(334) %. . .
(335) / / ;. . . / ;. . .
(336) . . .
(337) / ;. . . . . . . . . # /% . . .
(338)
(339) .
(340) . . . .
(341) . . . . ;.
(342) . ;' . . .
(343)
(344) .
(345)
(346) . . ; . / . . / . . "/)
(347)
(348) / . . . / . . . / . . / ;. . . "/)
(349) . . . . . . . . %/ . . F
(350) / /) . . F %
(351) /) . . / / . . / . . / ;. . . . # . . Q
(352) %// /
(353) . . . / ;. . . / . . # / /;//
(354) /'%. . / / ;. . . . . / . .
(355) ' %. . /' %. . . R*/
(356) :/
(357) %. . . .
(358)
(359) . .
(360) . %/) . . "
(361) / ' ) . . . + % / . . . .
(362) %% . . . /'% . . . F ' /'%. . / . . B' . . . . %/'%. . . * . . . "
(363) / ' ) . . . %. .
(364)
(365) % /
(366) . . . . . . / ;. . " + %. . . I/,. ;'.
(367) . ;'. )) ' . . . F .
(368) ' % . . . /
(369) /
(370) . . . . B . ' ' . . . . . . /
(371) %/. . . . . . / . F! . ' . . . ' %/ . . . / /
(372) . . / / / %%. I . %)
(373) / . ! . . !
(374) / . I . . I
(375)
(376) . I . . I/ . . . /) . . / % /. .. )
(377) %. . " . "
(378) ' % // . "#. . " /. "I. . " / . 8 . . 8
(379) / . IQ# . I
(380) / . " . I
(381) / /) . " #. I
(382) / /) S
(383) . D . %'%
(384)
(385) .
(386) D # . %'%
(387)
(388) % . D # . %'%
(389)
(390) % . Q" #. I
(391) ) S
(392) . Q#. . I
(393) . 2P. .
(394) / / /. 24. . / / /. F!".8B. F
(395)
(396)
(397) %)
(398) ;
(399) . F. . F/ + . . .
(400)
(401)
(402) '. # . # )/ '
(403) ) %
(404) % /. #&" F. #% /
(405) '
(406) . #. . #/ . D . . D ; . . ;'.
(407)
Documents relatifs
Fundgruben für Geschichte deutscher Sprache und Litteratur 1 (ed. Heinrich Hoffmann, Breslau 1830) 40; ähnlich auch Peter Lambeck und später Johann Kelle: Hellgardt, Flacius
The project, Global Accounting Shared Service Center (GASSC) started in 2015, choosing TIM, a workflow management system spe- cialized on human workflows, as one main pillar out
Les verbes de déplacement: STELLEN, LEGEN, (SICH) SETZTEN, HÄNGEN Avec ces verbes avec mouvement, la préposition sera suivie de l’ACCUSATIF. Beispiel: Ich lege die Bücher
Pour les îles: auf + nom de l’île (si pluriel, rajouter le « den -n ») In den letzten Ferien war ich auf Sylt nich auf den Kanarischen Inseln!. Exception à apprendre: Ich bin
Die Deutsche Nationalbibliothek verzeichnet diese Publikation in der Deutschen Nationalbibliografie; detaillierte bibliografische Daten sind im Internet.
Während Signs of Safety nur als Modell oder Produkt verwendet werden kann, dass man einkauft und trainiert, liefert der Ansatz den größten Nutzen, wenn er als Fundament für
„Für sie war das ein richtiges Er- lebnis, eine Woche wie ihre deut- schen Vorfahren gelebt zu haben, täglich ihre Sprache zu lernen und die Deutschen in sich zu entde- cken.“..
Sie alle wurden in Deutschland erfunden und das sind nicht die einzigen Erfindungen, auch heute noch werden jeden Tag hier bei uns neue Dinge erfunden.. Wirtschaftsexperten
