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Nanoparticules d'alliage or-étain pour le remplissage des trous d'interconnexion

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Academic year: 2021

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Figure 1-2 : L'intégration des TSV à différentes étapes des procédés de microfabrication  3
Figure 2-2 : Microstructure de l'alliage eutectique 80Au-20Sn en fonction de la vitesse de   refroidissement : (a) 2,4 x 10, (b) 4,2 x 10 2 , (c) 9,0 x 10 3  et (d) 3,5 x 10 4  K/min [2]
Figure 2-4 : Microstructure de l'alliage Au-Sn après un recuit à a) 290 ºC pendant 2 minutes   et b) 240 ºC pendant 2 minutes
Figure 2-5 : Potentiel zêta et diamètre moyen d'amas de nanoparticules de TiO 2    en fonction du pH d'une solution [8]
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