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Micromachining-compatible, facile fabrication of polymer nanocomposite spin crossover actuators

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Academic year: 2021

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Figure 1. MEMS coating with the SCO/SU-8 composite. a) Scheme of the spray deposition on silicon cantilevers
Figure 2. Actuation by SCO: from micro- to macroscopic scales. a) Temperature dependence of the static piezoresistance change and the corre- corre-sponding actuation amplitude in silicon MEMS microcantilevers covered by the SCO/SU-8 composite film
Table 1 for the numerical data). The strain associated with the
Table 2. Performance metrics of selected bending actuators from the literature.
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